GB/T 14603-1993
電子工業用氣體 三氟化硼
Gases for electronic industry. Boron trifluoride
GBT14603-1993, GB14603-1993
2010-05
- 標準號
- GB/T 14603-1993
- 別名
- GBT14603-1993, GB14603-1993
- 發布
- 1993年
- 總頁數
- 8頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 14603-2009
- 當前最新
- GB/T 14603-2009
- 適用范圍
- 本標準規定了三氟化硼產品的技術要求、試驗方法、檢驗規則、包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。 本標準適用于以氟硼酸鈉為原料，采用熱分解法制得的三氟化硼。主要用于半導體器件和集成電路生產的離子注入和摻雜。 分子式：BF3 相對分子質量：67.805（按1989年國際相對原子質量）
GB/T 14603-1993 中可能用到的儀器設備
專題
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