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GB/T 17874-1999
電子工業用氣體三氯化硼

Gases for electronic industry--Boron Trichloride

GBT17874-1999, GB17874-1999

被代替

2011-05

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標準號: GB/T 17874-1999
別名: GBT17874-1999, GB17874-1999
發布: 1999年
總頁數: 8頁
發布單位: 國家質檢總局
替代標準: GB/T 17874-2010
當前最新: GB/T 17874-2021

適用范圍: 本標準規定了電子工業用三氯化硼氣體的要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。本標準適用于以粗制三氯化硼為原料，采用吸附、蒸餾的方法提純制得的三氯化硼，主要用于電子工業硅半導體器件和集成電路生產所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。

專題

工業硼化物三溴化硼氣體三溴化硼氣體三氯化硼

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