GB/T 14603-2009
電子工業用氣體.三氟化硼
Gases for electronic industry.Boron trifluoride
GBT14603-2009, GB14603-2009
- 標準號
- GB/T 14603-2009
- 別名
- GBT14603-2009, GB14603-2009
- 發布
- 2009年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 14603-2009
- 引用標準
- GB 11640-1989 GB 14194-2006 GB 190-2009 GB 7144-1999 GB/T 3723-1999 危險貨物運輸規則 氣瓶安全監察規程
- 被代替標準
- GB/T 14603-1993
- 適用范圍
- 本標準規定了電子工業用三氟化硼的技術要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存及安全要求。 本標準適用于以氟氣和硼單質 為原料，采用直接化合的方法制得并經過純化制取的三氟化硼；和以氟硼酸鈉為原料熱分解法制得并經過純化制取的三氟化硼。主要用于半導體器件和集成電路生產的離子注入和摻雜。
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