GB/T 24578-2015
硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法

Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy

GBT24578-2015, GB24578-2015

被代替

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標準號

GB/T 24578-2015

別名

GBT24578-2015
GB24578-2015

發布

2015年

總頁數

13頁

發布單位

國家質檢總局

替代標準

GB/T 24578-2024

當前最新

GB/T 24578-2024

 

 

引用標準

GB 50073-2013 GB/T 14264

被代替標準

GB/T 24578-2009

本標準規定了使用全反射X光熒光光譜，定量測定硅拋光襯底表面層的元素面密度的方法。本標準適用于硅單晶拋光片、外延片（以下稱硅片），尤其適用于硅片清洗后自然氧化層，或經化學方法生長的氧化層中沾污元素面密度的測定，測定范圍為10⁹ atoms/cm²~10¹⁵ atoms/cm²

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