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KS D 0078-2008
硅晶體中混雜物濃度測定方法.光致發光分析測定法

Test method for determination of impurity concentrations in silicon crystal by photoluminescence spectroscopy

被代替

標準號: KS D 0078-2008
發布: 2008年
發布單位: 韓國科技標準局
替代標準: KS D 0078-2008(2018)
當前最新: KS D 0078-2023

被代替標準: KS D 0078-1998

適用范圍: 本標準涵蓋了光致發光光譜法測定單晶硅和多晶硅雜質濃度的方法。

專題

光致發光分析光致發光分析分光光度法測定濃度

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