DIN 50451-6-2014
半導體工藝用材料測試. 液體中痕量元素測定. 第6部分: 測定含有氫氟酸的高純度氟化銨溶液蝕刻混合物和高純度氟化銨溶液 (NH4F) 中的36種元素

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution

DIN 50451-6-2014 發布歷史

DIN 50451-6-2014由德國標準化學會 DE-DIN 發布于 2014-11。

DIN 50451-6-2014 在中國標準分類中歸屬于: H80 半金屬與半導體材料綜合，在國際標準分類中歸屬于: 29.045 半導體材料。

DIN 50451-6-2014 發布之時，引用了標準

• DIN 32645-2008 化學分析.重復條件下的決定極限、監測極限和測定極限.術語、方法和評價
• DIN 50451-5-2010 半導體工藝用材料測試.液體中痕量元素測定.第5部分:在每千克微克和每千克豪微克范圍之內的痕量元素測定用樣品和樣品制備裝置的材料選擇及其適用性試驗指南
• DIN EN ISO 8655-2-2002 活塞式容量測量儀器.第2部分:活塞式吸量管 (ISO 8655-2:2002); 德文版本 EN ISO 8655-2:2002
• DIN EN ISO 17294-2-2005 水質.感應耦合等離子體質譜法(ICP-MS)的應用.第2部分:62種元素的測定
• DIN ISO 5725-2-2002 測量方法與結果的準確度(正確度與精確度).第2部分:標準測量方法的重復性和可再現性測定的基本方法 (ISO 5725-2:1994 包括技術勘誤 1:2002)
• DIN ISO 5725-4-2003 測試方法與結果的準確度(正確度與精確度).第4部分:確定標準測量方法正確度的基本方法 (ISO 5725-4:1994)

DIN 50451-6-2014的歷代版本如下：

• 2014年11月 DIN 50451-6-2014 半導體工藝用材料測試. 液體中痕量元素測定. 第6部分: 測定含有氫氟酸的高純度氟化銨溶液蝕刻混合物和高純度氟化銨溶液 (NH4F) 中的36種元素

非常抱歉，我們暫時無法提供預覽，您可以試試： 免費下載 DIN 50451-6-2014 前三頁，或者稍后再訪問。

注意： 點擊下載后，生成下載文件時間比較長，請耐心等待......

標準號

DIN 50451-6-2014

發布日期

2014年11月

實施日期

廢止日期

無

中國標準分類號

H80

國際標準分類號

29.045

發布單位

DE-DIN

引用標準

DIN 32645-2008 DIN 50451-5-2010 DIN EN ISO 8655-2-2002 DIN EN ISO 14644-1-1997 DIN EN ISO 17294-2-2005 DIN ISO 5725-2-2002 DIN ISO 5725-4-2003

被代替標準

DIN 50451-6-2012

DIN 50451-6-2014系列標準

氟化銨 測試方法

安徽省質量技術監督局

US-ASTM