DIN 50451-2:2003
半導體工藝材料測試.液體中痕量元素測定.第2部分:用等離子感應發射分光光度測定法測定氫氟酸中鈷(Co)、鉻(Cr)、銅(Ca)、鐵(Fe)和鎳(Ni)的含量
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 2: Calcium (Ca), cobalt (Co), chromium (Cr), copper (Cu), Iron (Fe), nickel (Ni) and zinc (Zn) in hydrofluoric acid with plasma-induced emission spectros
- 標準號
- DIN 50451-2:2003
- 發布
- 2003年
- 發布單位
- 德國標準化學會
- 替代標準
- DIN 50451-2:2003-04
- 當前最新
- DIN 50451-2:2003-04
- 被代替標準
- DIN 50451-2:1990 DIN 50451-2:2002
- 適用范圍
- 該文件規定了氫氟酸中與半導體技術相關的鈷（Co）、鉻（Cr）、銅（Cu）、鐵（Fe）和鎳（Ni）金屬痕量的測試方法。使用等離子體激發的發射光譜（例如，電感耦合等離子體（ICP）或直流等離子體（DCP））進行測定。應用范圍涵蓋微量元素質量分數從1 ng/g到1000 ng/g。#,,#
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