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KS M 1804-2008
半導體用氫氟酸試驗方法

Test method of hydrofluoric acid for semi-conductor

被代替

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標準號: KS M 1804-2008
發布: 2008年
發布單位: 韓國科技標準局
替代標準: KS M 1804-2008(2018)
當前最新: KS M 1804-2008(2023)

被代替標準: KS M 1804-2003

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KS M 1804-2008相似標準

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氫氟酸測試方法

AENOR

UNE-EN 13656:2003 廢物表征用氫氟酸（HF）、硝酸（HNO3）和鹽酸（HCl）混合酸進行微波輔助消解，用于隨后的元素測定 UNE-ISO 14869-1:2007 土壤質量用于測定總元素含量的溶出度第1部分：用氫氟酸和高氯酸溶解（ISO 14869-1:2001）

AT-ON

OENORM EN 13656-2021 土壤、處理過的生物廢物、污泥和廢物用鹽酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氫氟酸（HF）酸混合物進行消解，以便隨后測定元素

BE-NBN

NBN T 03-513-1983 工業用含水氫氟酸．取樣和試驗方法

CH-SNV

SN EN 13656-2021 土壤、處理過的生物廢物、污泥和廢物用鹽酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氫氟酸（HF）酸混合物進行消解，以便隨后測定元素

臺灣地方標準

CNS 4765-1986 不銹鋼之硝酸–氫氟酸腐蝕試驗法

行業標準-電力

DL/T 502.3-2006 火力發電廠水汽分析方法.第3部分:全硅的測定(氫氟酸轉化分光光度法)

國家質檢總局

GB/T 5195.9-1985 氟石化學分析方法 氫氟酸重量法測定二氧化硅量 GB/T 4334.4-2000 不銹鋼硝酸 氫氟酸腐蝕試驗方法 GB/T 12148-1989 鍋爐用水和冷卻水分析方法全硅的測定低含量硅氫氟酸轉化法 GB/T 12148-2006 鍋爐用水和冷卻水分析方法全硅的測定低含量硅氫氟酸轉換法 GB/T 6901.3-1986 硅質耐火材料化學分析方法 氫氟酸重量法測定二氧化硅量 GB/T 6901.3-2004 硅質耐火材料化學分析方法第3部分;氫氟酸重量法測定二氧化硅量

行業標準-化工

HG/T 4335.9-2012 酸類物質泄漏的處理處置方法第9部分：氫氟酸

行業標準-石油化工

SH/T 0696-2000 FCC平衡催化劑中鎳和釩測定法(氫氟酸/硫酸分解-原子光譜分析法)

中國團體標準

T/NAIA 0125-2022 工業氫氟酸總酸度測定自動電位滴定法 T/CNIA 0118-2021 電子工業用高純氫氟酸中痕量雜質元素含量的測定電感耦合等離子體質譜法 T/CNIA 0117-2021 電子工業用高純氫氟酸中痕量陰離子含量的測定離子色譜法

德國標準化學會

DIN ISO 14869-1:2003-01 土壤質量測定總元素含量的溶解度第1部分：氫氟酸和高氯酸溶解度 DIN EN 13656:2019 土壤、處理過的生物廢物、污泥和廢物用鹽酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氫氟酸（HF）酸混合物進行消化，以便隨后測定元素 DIN EN 13656:2021 土壤、處理過的生物廢物、污泥和廢物用鹽酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氫氟酸（HF）酸混合物進行消化，以便隨后測定元素；德文版 EN 13656:2020 DIN ISO 14869-1:2003 土質.測定元素總含量的溶解法.第1部分:用氫氟酸和過氯酸溶解 DIN 50451-6:2014 半導體工藝用材料測試. 液體中痕量元素測定. 第6部分: 測定含有氫氟酸的高純度氟化銨溶液蝕刻混合物和高純度氟化銨溶液 (NH4F) 中的36種元素 DIN 50451-2:2003 半導體工藝材料測試.液體中痕量元素測定.第2部分:用等離子感應發射分光光度測定法測定氫氟酸中鈷(Co)、鉻(Cr)、銅(Ca)、鐵(Fe)和鎳(Ni)的含量 DIN EN 13656:2003 廢棄物特性.廢棄物元素的連續測定用微波輔助的氫氟酸(HF)、硝酸(HNO₃ 和鹽酸(HCl)混合物的分解; 德文版本 EN 13656:2002

丹麥標準化協會

DS/EN 13656:2003 廢物表征用氫氟酸（HF）、硝酸（HNO3）和鹽酸（HCl）混合酸進行微波輔助消解，用于隨后的元素測定

法國標準化協會

NF ISO 21438-2:2010 工作場所空氣離子色譜法測定無機酸第2部分：揮發性酸 氫氟酸除外（鹽酸、氫溴酸和硝酸） NF ISO 21438-3:2010 工作場所空氣離子色譜法測定無機酸第3部分：氫氟酸和顆粒氟化物 NF X43-211-3*NF ISO 21438-3:2010 工作場所空氣離子色譜法測定無機酸第3部分：氫氟酸和粒狀氟化物 NF X31-428-3*NF ISO 14869-3:2017 土壤質量測定總元素含量的溶解法第3部分：使用加壓微波技術用氫氟酸、鹽酸和硝酸溶解 NF X30-435*NF EN 13656:2020 土壤、處理過的生物廢物、污泥和垃圾. 用鹽酸(HCl)、硝酸(HNO3)和四氟硼酸(HBF4)或氫氟酸(HF)混合物進行消解,以便隨后測定元素 NF X43-211-2*NF ISO 21438-2:2010 工作場所空氣.離子色譜分析法測定無機酸.第2部分:除了氫氟酸之外的揮發酸(鹽酸、氫溴酸和硝酸) NF T20-337:1984 工業用含水氫氟酸.取樣和試驗方法 NF X31-428-1*NF ISO 14869-1:2001 土壤質量.為測定總元素含量進行的溶解作用.第1部分:使用氫氟酸和過氯酸的溶解 NF X43-304:2007 固定源輻射.用氫氟酸(HF)含量值表示的氟化物濃度的測量.人工法

英國標準學會

BS ISO 21438-2:2010 工作場所空氣利用色譜分析法測定無機酸除氫氟酸（鹽酸、氫溴酸和硝酸）之外的揮發酸 19/30397547 DC BS EN 13656 土壤、處理過的生物廢物、污泥和廢物用鹽酸(HCl)、硝酸(HNO3)和四氟硼酸(HBF4)或氫氟酸(HF)酸混合物消解以便隨后測定元素 22/30440721 DC BS ISO 21438-2 職場氛圍離子色譜法測定無機酸第2部分：揮發性酸 氫氟酸除外（鹽酸、氫溴酸和硝酸） BS ISO 14869-3:2017 土壤質量. 溶解測定元素總含量. 采用加壓微波技術溶解氫氟酸, 鹽酸和硝酸 BS ISO 21438-2:2009 工作場所空氣.利用色譜分析法測定無機酸.除氫氟酸(鹽酸,氫溴酸和硝酸)之外的揮發酸 BS ISO 21438-3:2010 工作場所空氣.離子色譜法測定無機酸.氫氟酸和氟化物微粒

印度尼西亞標準

SNI 07-3115-1992 不銹鋼抗非規則打擊性能測試方法. 硝酸與氫氟酸測試

IT-UNI

UNI EN 13656-2021 土壤、處理過的生物廢物、污泥和廢物用鹽酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氫氟酸（HF）酸混合物進行消解，以便隨后測定元素

歐洲標準化委員會

EN 13656:2002 廢棄物特性.廢棄物元素的連續測定用微波輔助的氫氟酸(HF),硝酸(HNO3) 和鹽酸(HCl)混合物的分解 EN 13656:2020 廢棄物特性.廢棄物元素的連續測定用微波輔助的氫氟酸(HF),硝酸(HNO3) 和鹽酸(HCl)混合物的分解

國際標準化組織

ISO/DIS 21438-2 工作場所大氣《離子色譜法測定無機酸》第2部分：揮發性酸，氫氟酸（鹽酸、氫溴酸和硝酸）除外 ISO/FDIS 21438-2:2023 工作場所氣氛離子色譜法測定無機酸第2部分：揮發性酸 氫氟酸除外（鹽酸、氫溴酸和硝酸） ISO 14869-1:2001 土壤質量元素總含量測定用分解第1部分：用氫氟酸和高氯酸的分解 ISO 14869-3:2017 土壤質量. 溶解測定元素總含量. 第3部分: 采用加壓微波技術溶解氫氟酸, 鹽酸和硝酸 ISO 21438-2:2009 工作場所空氣.離子色譜分析法測定無機酸.第2部分:除氫氟酸之外的揮發酸(鹽酸,氫溴酸及硝酸) ISO 21438-3:2010 工作場所空氣.離子色譜分析法測定無機酸.第3部分:氫氟酸和氟化物微粒 ISO 3139:1976/Amd 1:1980 工業用含水氫氟酸 取樣和試驗方法修改1 ISO 3139:1976 工業用含水氫氟酸 取樣和試驗方法

日本工業標準調查會

JIS G 0574:1980 不銹鋼用硝酸-氫氟酸試驗方法 JIS K 1466:1995 半導體級氫氟酸的檢驗方法

韓國科技標準局

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KR-KS

KS M 1804-2008(2023) 半導體用氫氟酸試驗方法 KS M ISO 3139-2016 工業用水氫氟酸取樣和試驗方法 KS I ISO 14869-1-2018 土壤質量 - 用于測定總元素含量的溶解度 - 第1部分:用氫氟酸和高氯酸溶解 KS I ISO 21438-2-2019 工作場所空氣 - 離子色譜法無機酸測定 - 第2部分:易失性的酸除了氫氟酸（鹽酸氫溴酸和硝酸） KS I ISO 21438-3-2022 工作場所大氣無機酸的離子色譜測定第3部分:氫氟酸和顆粒氟化物

立陶宛標準局

LST EN 13656-2003 廢物表征用氫氟酸（HF）、硝酸（HNO3）和鹽酸（HCl）混合酸進行微波輔助消解，用于隨后的元素測定 LST EN 13656-2021 土壤、處理過的生物廢物、污泥和廢物用鹽酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氫氟酸（HF）酸混合物進行消解，以便隨后測定元素

PL-PKN

PN-EN 13656-2021-05 E 土壤、處理過的生物廢棄物、污泥和廢棄物用鹽酸（HCl）、硝酸（HNO3）和四氟硼酸（HBF4）或氫氟酸（HF）酸混合物進行消化，用于隨后的元素測定

RU-GOST R

GOST R ISO 21438-3-2012 工作場所的大氣環境. 采用離子色譜法對無機酸的測定. 第3部分. 氫氟酸和粒狀氟化物 GOST R ISO 21438-2-2012 工作場所的大氣環境. 采用離子色譜法對無機酸的測定. 第2部分. 揮發酸, 氫氟酸除外 (鹽酸, 氫溴酸和硝酸)

TH-TISI

TIS 1968-2000 工業用含水氫氟酸.取樣和試驗方法

美國材料與試驗協會

ASTM D1977-98 氫氟酸/硫酸分解和原子光譜分析FCC平衡催化劑中鎳和釩的標準試驗方法 ASTM D1977-16 采用氫氟酸和硫酸分解和原子光譜分析法測定FCC平衡催化劑中鎳和釩的標準試驗方法 ASTM D1977-22 氫氟酸/硫酸分解和原子光譜分析FCC平衡催化劑中鎳和釩的標準試驗方法 ASTM D1977-03(2008) 用氫氟酸/硫酸分解和原子光譜法分析FCC平衡催化劑中鎳和釩的標準試驗方法 ASTM D1977-03 用氫氟酸/硫酸分解和原子光譜法分析FCC平衡催化劑中鎳和釩的標準試驗方法

VN-TCVN

TCVN 7370-1-2004 土質.總元素含量測定用分解性.第1部分:用氫氟酸和高氯酸進行分解 TCVN 7243-2003 醫療用固體廢物焚化爐.廢氣中氫氟酸濃度(HF)的測定方法

工業和信息化部

YB/T 175-2017 金剛砂碳化硅含量的測定 氫氟酸重量法 SJ/T 11554-2015 用電感耦合等離子體發射光譜法測定氫氟酸中金屬元素的含量

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