DIN 50451-6-2014
半導體工藝用材料測試. 液體中痕量元素測定. 第6部分: 測定含有氫氟酸的高純度氟化銨溶液蝕刻混合物和高純度氟化銨溶液 (NH4F) 中的36種元素

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution

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標準號

DIN 50451-6-2014

發布日期

2014年11月

實施日期

廢止日期

無

中國標準分類號

H80

國際標準分類號

29.045

發布單位

DE-DIN

引用標準

DIN 32645-2008 DIN 50451-5-2010 DIN EN ISO 8655-2-2002 DIN EN ISO 14644-1-1997 DIN EN ISO 17294-2-2005 DIN ISO 5725-2-2002 DIN ISO 5725-4-2003

被代替標準

DIN 50451-6-2012

DIN 50451-6-2014系列標準

氟化銨 測試方法

安徽省質量技術監督局

US-ASTM