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  • BS ISO 14706:2014
    表面化學分析.采用全反射X射線熒光(TXRF)光譜法對硅片表面元素污染物的測定

    Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy


    標準號
    BS ISO 14706:2014
    發布
    2014年
    發布單位
    英國標準學會
    當前最新
    BS ISO 14706:2014
     
     
    引用標準
    ISO 14644-1 ISO 5725-2:1994
    被代替標準
    BS ISO 14706:2000

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