BS ISO 14706-2014
表面化學分析.采用全反射X射線熒光(TXRF)光譜法對硅片表面元素污染物的測定
Surface chemical analysis. Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
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- 標準號
- BS ISO 14706-2014
- 發布日期
- 2014年07月31日
- 實施日期
- 2014年07月31日
- 廢止日期
- 無
- 中國標準分類號
- H17
- 國際標準分類號
- 71.040.40
- 發布單位
- GB-BSI
- 引用標準
- ISO 14644-1 ISO 5725-2-1994
- 被代替標準
- BS ISO 14706-2000