YS/T 936-2013
集成電路器件用鎳釩合金靶材
Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device
YST936-2013, YS936-2013
- 標準號
- YS/T 936-2013
- 別名
- YST936-2013, YS936-2013
- 發布
- 2013年
- 發布單位
- 行業標準-有色金屬
- 當前最新
- YS/T 936-2013
- 引用標準
- GB/T 1031 GB/T 14265 GB/T 6394 GJB 1580A YS/T 837
- 適用范圍
- 本標準規定了集成電路器件用鎳釩合金濺射靶材的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書及合同或訂貨單內容。本標準適用于電子薄膜制造用的各類鎳釩合金濺射靶材。
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