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YS/T 936-2013
集成電路器件用鎳釩合金靶材

Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device

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標準號: YS/T 936-2013
發布日期: 2013年10月17日
實施日期: 2014年03月01日
廢止日期: 無
中國標準分類號: H62
國際標準分類號: 77.150.40
發布單位: CN-YS
引用標準: GB/T 1031 GB/T 6394 GB/T 14265 GJB 1580A YS/T 837

適用范圍: 本標準規定了集成電路器件用鎳釩合金濺射靶材的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書及合同或訂貨單內容。本標準適用于電子薄膜制造用的各類鎳釩合金濺射靶材。

YS/T 936-2013 中可能用到的儀器設備

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