GB/T 25915.8-2010
潔凈室及相關受控環境 第8部分：空氣分子污染分級
Cleanrooms and associated controlled environments.Part 8:Classification of airborne molecular contamination
GBT25915.8-2010, GB25915.8-2010
- 標準號
- GB/T 25915.8-2010
- 別名
- GBT25915.8-2010, GB25915.8-2010
- 發布
- 2011年
- 采用標準
- ISO 14644-8:2006 IDT
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 25915.8-2021
- 當前最新
- GB/T 25915.8-2021
- 引用標準
- GB/T 25915.6
- 適用范圍
- GB/T 25915的本部分依據潔凈室及相關受控環境空氣中具體化學物質(種、組、類)的濃度,對空氣分子污染(AMC)進行分級。同時,本部分在分級技術要求中,給出了包括檢測方法、分析方法和時間加權系數的規程。 本部分目前只考慮潔凈室運行工況下100g/m3～10-12g/m3的AMC濃度。 本部分不涉及那些雖有空氣分子物質存在、但不認為對產品或工藝有風險的行業、工藝和生產。 本部分無意探討空氣分子污染物的特性。 本部分不包含對表面分子污染的分級。
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