GB/T 26070-2010
化合物半導體拋光晶片亞表面損傷的反射差分譜測試方法
Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method
GBT26070-2010, GB26070-2010
- 標準號
- GB/T 26070-2010
- 別名
- GBT26070-2010
GB26070-2010 - 發布
- 2011年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 26070-2010
- 適用范圍
- 1.1 本標準規定了亞-V族化合物半導體單晶拋光片亞表面損傷的測試方法。 1.2 本標準適用于GaAs、InP(GaP、GaSb 可參照進行)等化合物半導體單晶拋光片亞表面損傷的測量。 2 定義