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  • GB/T 14264-2009
    半導體材料術語

    Semiconductor materials-Terms and definitions

    GBT14264-2009, GB14264-2009

    2024-11

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    GB/T 14264-2009

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    標準號
    GB/T 14264-2009
    別名
    GBT14264-2009
    GB14264-2009
    發布
    2009年
    總頁數
    50頁
    發布單位
    國家質檢總局
    替代標準
    GB/T 14264-2024
    當前最新
    GB/T 14264-2024
     
     
    引用標準
    ASTM F1241 SEMI M59
    被代替標準
    GB/T 14264-1993

    本標準規定了半導體材料及其生長工藝、加工、晶體缺陷和表面沾污等方面的主要術語和定義。 本標準適用于元素和化合物半導體材料。


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