GB/T 24577-2009
熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物

Test methods for analyzing organic contaminants on silicon water surfaces by thermal desorption gas chromatography

GB/T 24577-2009 發布歷史

1.1本標準規定了硅片表面的有機污染物的定性和定量方法，采用氣質聯用儀或磷選擇檢測器或者兩者同時采用。 1.2本標準描述了熱解吸氣相色譜儀(TD-GC)以及有關樣品制備和分析的相關程序。 1.3本標準的檢測限范圍取決于被檢測的有機化合物，比如碳氫化合物(C～C)的檢測范圍就是 10 g/cm～10g/cm。 1.4本標準適用于硅拋光片和有氧化層的硅片。 1.5本標準中包含了兩種方法。方法A適用于切割后的硅片，方法B則適用于完整的硅片。兩種方法的不同點在第7部分中有詳細描述。

GB/T 24577-2009由國家質檢總局 CN-GB 發布于 2009-10-30，并于 2010-06-01 實施。

GB/T 24577-2009 在中國標準分類中歸屬于: H80 半金屬與半導體材料綜合，在國際標準分類中歸屬于: 29.045 半導體材料。

GB/T 24577-2009 發布之時，引用了標準

• ASTM D6196 空氣中揮發性有機化合物的吸附劑選擇和泵送取樣/熱解吸分析程序的標準實施規程

GB/T 24577-2009的歷代版本如下：

• 2009年10月30日 GB/T 24577-2009 熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物

標準號

GB/T 24577-2009

發布日期

2009年10月30日

實施日期

2010年06月01日

廢止日期

無

中國標準分類號

H80

國際標準分類號

29.045

發布單位

CN-GB

引用標準

ASTM D6196

適用范圍

1.1本標準規定了硅片表面的有機污染物的定性和定量方法，采用氣質聯用儀或磷選擇檢測器或者兩者同時采用。 1.2本標準描述了熱解吸氣相色譜儀(TD-GC)以及有關樣品制備和分析的相關程序。 1.3本標準的檢測限范圍取決于被檢測的有機化合物，比如碳氫化合物(C～C)的檢測范圍就是 10 g/cm～10g/cm。 1.4本標準適用于硅拋光片和有氧化層的硅片。 1.5本標準中包含了兩種方法。方法A適用于切割后的硅片，方法B則適用于完整的硅片。兩種方法的不同點在第7部分中有詳細描述。

GB/T 24577-2009系列標準

GB/T 24577-2009 中可能用到的儀器設備