GB/T 24577-2009
熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物
Test methods for analyzing organic contaminants on silicon water surfaces by thermal desorption gas chromatography
GBT24577-2009, GB24577-2009
- 標準號
- GB/T 24577-2009
- 別名
- GBT24577-2009, GB24577-2009
- 發布
- 2009年
- 采用標準
- SEMI MF 1982-1103 MOD
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 24577-2009
- 引用標準
- ASTM D6196
- 適用范圍
- 1.1本標準規定了硅片表面的有機污染物的定性和定量方法，采用氣質聯用儀或磷選擇檢測器或者兩者同時采用。
1.2本標準描述了熱解吸氣相色譜儀(TD-GC)以及有關樣品制備和分析的相關程序。
1.3本標準的檢測限范圍取決于被檢測的有機化合物，比如碳氫化合物(C
～C )的檢測范圍就是 10 g/cm ～10 g/cm 。 1.4本標準適用于硅拋光片和有氧化層的硅片。 1.5本標準中包含了兩種方法。方法A適用于切割后的硅片，方法B則適用于完整的硅片。兩種方法的不同點在第7部分中有詳細描述。
GB/T 24577-2009相似標準
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