ISO 16700:2004
微電子束分析.掃描電子顯微鏡.校準圖像放大指南
Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Guidelines for calibrating image magnification
- 標準號
- ISO 16700:2004
- 發布
- 2004年
- 總頁數
- 24頁
- 中文版
- GB/T 27788-2011 (等同采用的中文版本)
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 替代標準
- ISO 16700:2016
- 當前最新
- ISO 16700:2016
- 引用標準
- ISO 5725-1:1994 ISO Guide 30:1992 ISO Guide 34:1996 ISO Guide 35:1989 ISO/IEC 17025:1999
- 適用范圍
- 本國際標準規定了使用適當的參考材料校準掃描電子顯微鏡（SEM）生成的圖像放大倍率的方法。 該方法僅限于由校準參考材料中結構的可用尺寸范圍確定的放大倍數。 本國際標準不適用于專用的臨界尺寸測量SEM。