GB/T 18867-2002
電子工業用氣體 六氟化硫
Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
GBT18867-2002, GB18867-2002
2015-07
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- 標準號
- GB/T 18867-2002
- 別名
- GBT18867-2002
GB18867-2002 - 發布
- 2002年
- 采用標準
- SEMI C3.24-1995 NEQ
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 替代標準
- GB/T 18867-2014
- 當前最新
- GB/T 18867-2014
本標準規定了電子工業用氣體六氟化硫產品的技術要求、分析方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。 本標準適用于硫與氟反應生成并經精制和純化制備的高純度六氟化硫。該產品主要用作等離子蝕刻劑、摻雜劑、電子元器件的外延氣或稀釋載氣等。