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    • GB/T 18867-2002
    電子工業用氣體 六氟化硫

    Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride

    GBT18867-2002, GB18867-2002

    2015-07

    GB/T 18867-2002 中，可能用到以下儀器

     

    GC-2014C氣相色譜儀島津 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    GC-2014C氣相色譜儀島津 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    GC-2014島津新氣相色譜儀系統 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    GC-2014島津新氣相色譜儀系統 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    氣相色譜儀新氣相色譜儀系統 島津 N2O/CO/CO2/CH4 分析系統（TCD） GC-2014NCCC3（ADS-C0059）

    氣相色譜儀新氣相色譜儀系統 島津 N2O/CO/CO2/CH4 分析系統（TCD） GC-2014NCCC3（ADS-C0059）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    系列 模塊化氣相色譜儀賽默飛TRACE 1300 氣質聯用儀測定六氟化硫降解產物

    系列 模塊化氣相色譜儀賽默飛TRACE 1300 氣質聯用儀測定六氟化硫降解產物

    賽默飛色譜與質譜分析

     

    島津GC-2014新氣相色譜儀系統 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    島津GC-2014新氣相色譜儀系統 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    氣相色譜儀島津GC-2014C N2O/CO/CO2/CH4 分析系統（TCD） GC-2014NCCC3（ADS-C0059）

    氣相色譜儀島津GC-2014C N2O/CO/CO2/CH4 分析系統（TCD） GC-2014NCCC3（ADS-C0059）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    GC-2014C島津氣相色譜儀 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    GC-2014C島津氣相色譜儀 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    氣相色譜儀賽默飛系列 模塊化氣相色譜儀 可檢測六氟化硫降解產物

    氣相色譜儀賽默飛系列 模塊化氣相色譜儀 可檢測六氟化硫降解產物

    賽默飛色譜與質譜分析

     

    GC-2014C氣相色譜儀島津 適用于土壤中釋放出的一氧化二氮（N2O）

    GC-2014C氣相色譜儀島津 適用于土壤中釋放出的一氧化二氮（N2O）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    氣相色譜儀島津GC-2014 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    氣相色譜儀島津GC-2014 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    GC-2014C島津氣相色譜儀 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    GC-2014C島津氣相色譜儀 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    新氣相色譜儀系統 GC-2014氣相色譜儀 適用于土壤中釋放出的一氧化二氮（N2O）

    新氣相色譜儀系統 GC-2014氣相色譜儀 適用于土壤中釋放出的一氧化二氮（N2O）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    安捷倫氣相色譜儀7890B 將方法無縫轉換到 Intuvo：輕質石油硫分析

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    安捷倫科技（中國）有限公司

     

    溫室氣體分析系統島津 N2O/CO/CO2/CH4 分析系統（TCD） GC-2014NCCC3（ADS-C0059）

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    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    島津氣相色譜儀溫室氣體分析 土壤中釋放出的一氧化二氮（N2O）分析儀 GC-2010PlusN2OCC1（ADS-C0122）

    島津氣相色譜儀溫室氣體分析 土壤中釋放出的一氧化二氮（N2O）分析儀 GC-2010PlusN2OCC1（ADS-C0122）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    微量硫分析系統氣相色譜儀 可檢測天然氣或氣體燃料

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    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    系統氣相色譜儀島津 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

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    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    溫室氣體分析系統氣相色譜儀 土壤中釋放出的一氧化二氮（N2O）分析儀 GC-2010PlusN2O1（ADS-C0039）

    溫室氣體分析系統氣相色譜儀 土壤中釋放出的一氧化二氮（N2O）分析儀 GC-2010PlusN2O1（ADS-C0039）

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    溫室氣體分析島津氣相色譜儀 適用于土壤中釋放出的一氧化二氮（N2O）

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    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    硫化學發光檢測系統色譜檢測器島津 硫化學發光檢測器Nexis SCD-2030分析柴油中微量硫化物

    硫化學發光檢測系統色譜檢測器島津 硫化學發光檢測器Nexis SCD-2030分析柴油中微量硫化物

    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    系統溫室氣體分析氣相色譜儀 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

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    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    島津色譜檢測器硫化學發光檢測系統 應用于其他化工

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    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    安捷倫氣相色譜儀Agilent 氣相色譜系統 將方法無縫轉換到 Intuvo：輕質石油硫分析

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    安捷倫科技（中國）有限公司

     

    硫化學發光檢測系統Nexis SCD-2030色譜檢測器 硫化學發光檢測器Nexis SCD-2030分析柴油中微量硫化物

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    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    氣相色譜儀系統溫室氣體分析 適用于測定大氣中的一氧化二氮（N2O）

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    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    賽默飛適用于 TRACE? 1300 和 1600 系列 GC 系統的 iConnect? 熱導檢測器 (TCD)

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    系統微量硫分析氣相色譜儀 硫分析儀 GC-2014PFPD1（ADS-C0009）

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    島津企業管理（中國）有限公司/島津（香港）有限公司

     

    硫化學發光檢測系統色譜檢測器Nexis SCD-2030 硫化學發光檢測器Nexis SCD-2030分析柴油中微量硫化物

    硫化學發光檢測系統色譜檢測器Nexis SCD-2030 硫化學發光檢測器Nexis SCD-2030分析柴油中微量硫化物

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    賽默飛FPD即時連接型火焰光度檢測器

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    賽默飛TCD氣相色譜即時連接型熱導檢測器 只需用干凈的備件替換臟污的單元

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    賽默飛FPD即時連接型火焰光度檢測器 為特定工作流程或方法重新配置系統

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    賽默飛FPD即時連接型火焰光度檢測器 離線執行維護

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    賽默飛TCD氣相色譜即時連接型熱導檢測器 為從單一通道儀器開始并擴展為多個進樣器或多個檢測器配置提供了靈活性

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    賽默飛FPD檢測器即時連接型火焰光度檢測器 在 TRACE GC 系列系統之間切換進樣器和檢測器

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    賽默飛TCD氣相色譜即時連接型熱導檢測器

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    賽默飛適用于 TRACE? 1300 和 1600 系列 GC 系統的 iConnect? 熱導檢測器 (TCD) 石化

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    賽默飛適用于 TRACE? 1300 和 1600 系列 GC 系統的 iConnect? 熱導檢測器 (TCD) 環境中未知樣品的測定

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    賽默飛適用于 TRACE? 1300 和 1600 系列 GC 系統的 iConnect? 熱導檢測器 (TCD) 工業

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    賽默飛色譜與質譜分析

     

    PerkinElmer 氣相色譜儀珀金埃爾默氣相色譜儀 結合電化學硫化物檢測器檢測飲料級 CO2 中的痕量雜質

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    北京普立泰科儀器有限公司

     

    美國OI 脈沖式火焰光度檢測器PFPD 5383 也可檢測硫化物

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    美國OI 脈沖式火焰光度檢測器PFPD 5383可檢測天然氣中的硫

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    美國OI 氣相色譜檢測器 5320 ELCD可用于分析輕質石油中的硫化物

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    北京普立泰科儀器有限公司

     

    GB/T 18867-2002
    標準號
    GB/T 18867-2002
    別名
    GBT18867-2002
    GB18867-2002
    發布
    2002年
    采用標準
    SEMI C3.24-1995 NEQ
    發布單位
    國家質檢總局
    替代標準
    GB/T 18867-2014
    當前最新
    GB/T 18867-2014
     
     
    本標準規定了電子工業用氣體六氟化硫產品的技術要求、分析方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。 本標準適用于硫與氟反應生成并經精制和純化制備的高純度六氟化硫。該產品主要用作等離子蝕刻劑、摻雜劑、電子元器件的外延氣或稀釋載氣等。

    GB/T 18867-2002相似標準

    GB/T 18867-2014 電子工業用氣體 六氟化硫 T/CATSI 05002-2020 高壓液化氣體管束式集裝箱專項技術要求 T/CCGA 30003-2019 超純三氟化氮 DL/T 1205-2013 六氟化硫電氣設備分解產物試驗方法 GB/T 32386-2015 電子工業用氣體 六氟化鎢

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    GB/T 18867-2002 中可能用到的儀器設備

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    誰引用了GB/T 18867-2002 更多引用

    DL/T 1205-2013 六氟化硫電氣設備分解產物試驗方法


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