GB/T 18867-2002
電子工業用氣體 六氟化硫已作廢

Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride

GB/T 18867-2002 發布歷史

本標準規定了電子工業用氣體六氟化硫產品的技術要求、分析方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。 本標準適用于硫與氟反應生成并經精制和純化制備的高純度六氟化硫。該產品主要用作等離子蝕刻劑、摻雜劑、電子元器件的外延氣或稀釋載氣等。

GB/T 18867-2002由國家質檢總局 CN-GB 發布于 2002-10-15，并于 2003-04-01 實施，于 2015-07-01 廢止。

GB/T 18867-2002 在中國標準分類中歸屬于: G86 工業氣體與化學氣體，在國際標準分類中歸屬于: 71.100.20 工業氣體。

GB/T 18867-2002的歷代版本如下：

• 2002年10月15日 GB/T 18867-2002 電子工業用氣體 六氟化硫
• 2014年12月22日 GB/T 18867-2014 電子工業用氣體 六氟化硫

GB/T 18867-2002 電子工業用氣體 六氟化硫 于 2014-12-22 變更為 GB/T 18867-2014 電子工業用氣體 六氟化硫。

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標準號

GB/T 18867-2002

發布日期

2002年10月15日

實施日期

2003年04月01日

廢止日期

2015-07-01

中國標準分類號

G86

國際標準分類號

71.100.20

發布單位

CN-GB

代替標準

GB/T 18867-2014

適用范圍

本標準規定了電子工業用氣體六氟化硫產品的技術要求、分析方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。 本標準適用于硫與氟反應生成并經精制和純化制備的高純度六氟化硫。該產品主要用作等離子蝕刻劑、摻雜劑、電子元器件的外延氣或稀釋載氣等。

GB/T 18867-2002系列標準

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