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DIN 32566-2007
微型系統用生產設備.X射線光刻掩膜支持環用規范

Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring

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標準號: DIN 32566-2007
發布日期: 2007年12月
實施日期
廢止日期: 無
中國標準分類號: N38
國際標準分類號: 31.020;37.020
發布單位: DE-DIN
引用標準: DIN EN ISO 1101 DIN EN ISO 8734

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