DIN 32566-2007
微型系統用生產設備.X射線光刻掩膜支持環用規范
Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring
DIN 32566-2007 中，可能用到以下試劑
- 標準號
- DIN 32566-2007
- 發布日期
- 2007年12月
- 實施日期
- 廢止日期
- 無
- 中國標準分類號
- N38
- 國際標準分類號
- 31.020;37.020
- 發布單位
- DE-DIN
- 引用標準
- DIN EN ISO 1101 DIN EN ISO 8734