本部分將討論在離子注入后，用于恢復晶體的各種熱處理設備。還將簡要介紹現代激光退火設備和相應的激光器。一、什么是熱處理設備?正如離子注入設備所述，加速離子轟擊影響擾亂了離子注入后的硅的結晶性質。因此，有必要恢復結晶度。所以用于晶體恢復的熱處理設備是不可或缺的。什么是晶體恢復熱處理設備?當離子被注入晶圓...
在環形間隙內（D－d），發熱體與冷卻水進行熱交換的對流換熱系數h為式中 D——管的外徑（m）；d——器件收集極的外徑（m）；k——液體的導熱系數（W／（m·℃））。⑨ 管路與閥的選用。為了輸送和控制冷卻劑的循環，在液體冷卻系統中應設置必要的管路和閥門。應盡可能減少管路中閥的數量，并考慮使用...
一、直接液體冷卻所謂直接液體冷卻，就是冷卻液體與發熱的電子元器件直接接觸進行熱交換。熱源將熱量傳給冷卻液體，再由冷卻液體將熱量傳遞出去。在這種情況下，冷卻液體的對流和蒸發是熱源散熱的主要方式。1．發熱的電子元器件直接浸入冷卻液體（無蒸發）1）無攪動的直接液體冷卻電子元器件裝在一個密封的機殼內，里面充...
二、間接液體冷卻間接液體冷卻系統的設計，主要應保證熱源與熱沉之間有良好的導熱通路，盡可能減少接觸熱阻。間接液體冷卻與直接液體冷卻相比有如下特點：① 冷卻劑不與電子元器件相接觸，減少對電子設備的污染；② 可使用傳熱性能良好的冷卻劑，并在熱負載和環境條件發生變化時，能進行溫度調節；③ 維修方便、簡單...
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