DIN EN ISO 14644-8:2007
潔凈室及其控制環境.第8部分:空氣分子污染物的分類
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of airborne molecular contamination (ISO 14644-8:2006); English version of DIN EN ISO 14644-8:2007-04
- 標準號
- DIN EN ISO 14644-8:2007
- 發布
- 2007年
- 發布單位
- 德國標準化學會
- 替代標準
- DIN EN ISO 14644-8:2013
- DIN EN ISO 14644-8 E:2011
- 當前最新
- DIN EN ISO 14644-8:2022-10
- 適用范圍
- ISO 14644 的這一部分涵蓋了潔凈室和相關受控環境中空氣分子污染 (AMC) 的分類，包括特定化學物質（個體、群體或類別）的空氣濃度，并提供了包括測試方法、分析和時間的協議分類規范內的加權因素。 ISO 14644 的這一部分目前僅考慮潔凈室操作條件下 AMC 的濃度在 10 至 10g/m 之間。 ISO 14644 的這一部分與那些空氣中分子物質的存在不被視為對產品或過程構成風險的行業、過程或生產中的應用無關。 ISO 14644 這一部分的目的不是描述空氣中分子污染物的性質。 ISO 14644 的這一部分沒有給出表面分子污染的分類。
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