被代替
最后,本文結果表明,潔凈室環境能夠動態影響FOUP內部的污染物控制,具有良好阻隔特性的FOUP和吹掃功能,能夠更好地保護晶圓不受AMC污染。參考文獻:Solid State Phenomena (Volume 346), Aug 2023, https://doi.org/10.4028/p-NK8tbD...
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