本標準規定了應用X射線光譜方法測量金屬覆蓋層厚度的方法。 本標準所用的測量方法基本屬于測定單位面積質量的一種方法。如果已知覆蓋層材料的密度,則測量結果也可用覆蓋層的線性厚度表示。 本測量方法可同時測量三層覆蓋層體系,或同時測量三層組分的厚度和成分。 給定覆蓋層材料的實際測量范圍主要取決于被分析的特征X射線熒光的能量以及所...
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