此處主要介紹通信中較為特別的MEMS器件,主要為與射頻相關MEMS器件。 通信系統中,大量不同頻率的頻帶被使用以完成通訊功能,而這些頻帶的使用離不開頻率的產生。聲表面波器件,作為一種片外(off-chip)器件,與IC集成難度較大。表面聲波(SAW)濾波器曾是手機天線雙工器的中流砥柱。2005年,安捷倫科技推出基于MEMS體聲波(BAW)諧振器的頻率器件(濾波器),該技術能夠節省四分之三的空間。...
如MEMS陀螺儀應用在汽車上對汽車進行控制,近年隨著技術的進步,MEMS陀螺儀芯片已大量用于手機等終端設備中,IEC/TC47/SC47F也制定IEC 62047-20《半導體器件微電子微機械器件第20部分:陀螺儀》標準來規范手機用MEMS陀螺儀芯片的生產與測試;以及IEC 62047-5《半導體器件微電子微機械器件第5部分:RF MEMS開關》用來規范通信設備用射頻MEMS開關的參數要求和測試方法...
國家標準《半導體器件 微電子機械器件 第7部分:用于射頻控制和選擇的MEMS體聲波濾波器和雙工器》 由339-1(工業和信息化部(電子))歸口 ,主管部門為工業和信息化部(電子)。 主要起草單位:中國電子技術標準化研究院、中國電子信息產業集團有限公司、河北美泰電子科技有限公司、北京大學、北京必創科技股份有限公司、天津大學。...
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