表面聲波(SAW)濾波器曾是手機天線雙工器的中流砥柱。2005年,安捷倫科技推出基于MEMS體聲波(BAW)諧振器的頻率器件(濾波器),該技術能夠節省四分之三的空間。BAW器件不同于其他MEMS的地方在于BAW沒有運動部件,主要通過體積膨脹與收縮實現其功能。...
如MEMS陀螺儀應用在汽車上對汽車進行控制,近年隨著技術的進步,MEMS陀螺儀芯片已大量用于手機等終端設備中,IEC/TC47/SC47F也制定IEC 62047-20《半導體器件微電子微機械器件第20部分:陀螺儀》標準來規范手機用MEMS陀螺儀芯片的生產與測試;以及IEC 62047-5《半導體器件微電子微機械器件第5部分:RF MEMS開關》用來規范通信設備用射頻MEMS開關的參數要求和測試方法...
國家標準《半導體器件 微電子機械器件 第7部分:用于射頻控制和選擇的MEMS體聲波濾波器和雙工器》 由339-1(工業和信息化部(電子))歸口 ,主管部門為工業和信息化部(電子)。 主要起草單位:中國電子技術標準化研究院、中國電子信息產業集團有限公司、河北美泰電子科技有限公司、北京大學、北京必創科技股份有限公司、天津大學。...
X射線晶片測量工具可用于監測和控制關鍵設備參數,是硅半導體工廠不可或缺的一部分。此外,對高性能(光)電、高功率、高頻設備的市場需求的日益增長,推動了當今化合物半導體行業的不斷發展,以應對新的挑戰。開發具有定制光學和電氣特性的結晶薄膜、持續改進大批量生產流程以及增強質量管理,都是提高產量和控制此類設備成本的必要條件。X射線測量是一種經過驗證的理想工具,也可幫助業界實現這些目標。...
Copyright ?2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP備07018254號 京公網安備1101085018 電信與信息服務業務經營許可證:京ICP證110310號