表面聲波(SAW)濾波器曾是手機天線雙工器的中流砥柱。2005年,安捷倫科技推出基于MEMS體聲波(BAW)諧振器的頻率器件(濾波器),該技術能夠節省四分之三的空間。BAW器件不同于其他MEMS的地方在于BAW沒有運動部件,主要通過體積膨脹與收縮實現其功能。...
國家標準《半導體器件 微電子機械器件 第7部分:用于射頻控制和選擇的MEMS體聲波濾波器和雙工器》 由339-1(工業和信息化部(電子))歸口 ,主管部門為工業和信息化部(電子)。 主要起草單位:中國電子技術標準化研究院、中國電子信息產業集團有限公司、河北美泰電子科技有限公司、北京大學、北京必創科技股份有限公司、天津大學。...
在微電子、光電子、MEMS封裝方面,等離子技術正廣泛應用于封裝材料清洗及活化,對解決電子元器件存在的表面沾污、界面狀態不穩定、燒結及鍵合不良等缺陷隱患,提升質量管理和工序控制能力具有可操作性的積極作用,改善材料表面特性,提高封裝產品性能,需要選擇合適的清洗方式和清洗時間,對提高封裝質量和可靠性極為重要。...
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