如MEMS陀螺儀應用在汽車上對汽車進行控制，近年隨著技術的進步，MEMS陀螺儀芯片已大量用于手機等終端設備中，IEC/TC47/SC47F也制定IEC 62047-20《半導體器件微電子微機械器件第20部分：陀螺儀》標準來規范手機用MEMS陀螺儀芯片的生產與測試；以及IEC 62047-5《半導體器件微電子微機械器件第5部分：RF MEMS開關》用來規范通信設備用射頻MEMS開關的參數要求和測試方法...
42709.7-2023半導體器件 微電子機械器件 第7部分：用于射頻控制和選擇的MEMS體聲波濾波器和雙工器2023/5/232023/12/1 國家標準《半導體晶片電阻率及半導體薄膜薄層電阻的測試 非接觸渦流法》由TC203（全國半導體設備和材料標準化技術委員會）歸口，TC203SC2（全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會）執行 ，主管部門為國家標準化管理委員會。 ...
MEMS的快速發展是基于MEMS之前已經相當成熟的微電子技術、集成電路技術及其加工工藝。 MEMS往往會采用常見的機械零件和工具所對應微觀模擬元件，例如它們可能包含通道、孔、懸臂、膜、腔以及其它結構。然而，MEMS器件加工技術并非機械式。相反，它們采用類似于集成電路批處理式的微制造技術。批量制造能顯著降低大規模生產的成本。...
如果尺寸和速度不足以在連接器設計中引起麻煩，則新一代MEMS將增加另一個復雜度。微電子機械系統（MEMS）將機械傳感器和電子器件集成在一個芯片中。這項技術的新應用領域層出不窮，例如在氣囊傳感器、光學開關和血壓傳感器上使用的加速度計。這些傳感器給已經復雜的設備增加了更多的觸點，并且封裝變得具有挑戰性，因為傳感器的一部分必須對環境開放才能變得有效，而其余部分則需要以正常方式進行電鍍和密封。...
Copyright ?2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP備07018254號 京公網安備1101085018 電信與信息服務業務經營許可證：京ICP證110310號