CGA G-13-2016
硅烷和硅烷混合物的儲存和處理
STORAGE AND HANDLING OF SILANE AND SILANE MIXTURES
- 標準號
- CGA G-13-2016
- 發布
- 2016年
- 總頁數
- 87頁
- 發布單位
- 美國壓縮氣體協會
- 適用范圍
- 該標準管轄用于儲存、轉移或容納硅烷或硅烷混合物的系統和來源的安裝。該標準包括對硅烷氣體儲存和封閉使用系統的選址、設備設計、管道和控制以及制造和安裝的指導。提供了與使用硅烷和硅烷混合物相關的操作步驟以及消防、氣體監測、通風和相關保障措施的附加指南。
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