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CGA G-13-2015
硅烷和硅烷混合物的儲存和處理

STORAGE AND HANDLING OF SILANE AND SILANE MIXTURES

標準號: CGA G-13-2015
發布: 2015年
發布單位: 美國壓縮氣體協會

適用范圍: 該標準管轄用于儲存、轉移或容納硅烷或硅烷混合物的系統和來源的安裝。該標準包括對硅烷氣體儲存和封閉使用系統的選址、設備設計、管道和控制以及制造和安裝的指導。提供了與使用硅烷和硅烷混合物相關的操作步驟以及消防、氣體監測、通風和相關保障措施的附加指南。

專題

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