DIN 32566:2007
微型系統用生產設備.X射線光刻掩膜支持環用規范
Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring
- 標準號
- DIN 32566:2007
- 發布
- 2007年
- 發布單位
- 德國標準化學會
- 替代標準
- DIN 32566:2007-12
- 當前最新
- DIN 32566:2007-12
- 引用標準
- DIN EN ISO 1101 DIN EN ISO 8734
DIN 32566:2007相似標準
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