SJ 3244.3-1989
砷化鎵、磷化銦單晶晶向的測量方法
Methods of measurement for crystal-orientation of single crystal of Gallium arsenide and Indium phosphide
2010-02
- 標準號
- SJ 3244.3-1989
- 發布
- 1989年
- 發布單位
- 行業標準-電子
- 當前最新
- SJ 3244.3-1989
- 適用范圍
- 本標準規定了砷化鎵、磷化銦單晶錠端面及晶片晶向的X射線衍射測量原理、測量步驟、結果計算以及精度。 本標準適用于晶片表面大體平行于(10^(·)以內)某一低密勒指數原子面的單晶片的晶向測定。
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