GB/T 42897-2023
微機電系統（MEMS）技術 硅基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法
Micro-electro-mechanical systems (MEMS) technology silicon-based MEMS nano-thick film tensile strength test method
GBT42897-2023, GB42897-2023
- 標準號
- GB/T 42897-2023
- 別名
- GBT42897-2023, GB42897-2023
- 發布
- 2023年
- 總頁數
- 10頁
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 42897-2023
- 適用范圍
- 本文件描述了硅基MEMS加工過程中所涉及的納米厚度膜軸向抗拉強度原位試驗的要求和試驗方法。本文件適用于采用微電子工藝制造的納米厚度膜抗拉強度測試。
| 術語 | 描述 |
|---|---|
| 硅加工工藝 silicon process | 硅微加工技術，包括表面和體硅微加工。 |
| 原位片上抗拉強度試驗機 in situ on-chip tensile strength tester | 集成在同一晶圓上的測試結構和裝置，用于評估微納結構的抗拉強度。 |
| 測試結構 test structure | 專門制作的微納結構，用于測量材料或微結構性能，例如懸臂梁。 |
| 測試裝置 testing device | 將力或位移傳遞到測試結構并讀取相關數據的微結構。 |