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伯東公司主要經營產品德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管);氦質譜檢漏儀；質譜分析儀；真空系統以及美國Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源,Gamma離子泵. 網站: www.hakuto-vacuum.cn TEL: +86 (021) 5046-3511轉106 Fax : +86 (021) 5046-1490 E-mail: ec@hakuto-vacuum.cn

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 應用于集成電路制造中刻蝕

上一篇 / 下一篇 2020-11-30 16:13:03/ 個人分類：離子刻蝕機

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某高端半導體制造公司, 采用Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100運用在集成電路制造的刻蝕工藝.

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 技術參數:

Model	MEL3100
Wafer size	3"～6"
Wafer per batch	1 wafer
Cassette No.	25 wafers
Cassette Q'ty	1pc.
Throughput	10 (wafer/hr) *1
Pressure Ultimate	8×10-5 (Pa) *2
Pressure Process	2×10-2 (Pa) *2
Etching Rate	>10 (nm/min)@SiO2 *3
Etching Uniformity	±5%@132mm (6") *3
Wafer surface temp.	<100℃ *3
Stage rotating	1～20 (rpm) ±5%
Stage tilting	±90°±0.5°
*1: Estimated process time 5min
*2: No wafer on stege / process chamber
*3: Depending on process