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伯東公司主要經營產品德國 Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規管);氦質譜檢漏儀；質譜分析儀；真空系統以及美國Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源,Gamma離子泵. 網站: www.hakuto-vacuum.cn TEL: +86 (021) 5046-3511轉106 Fax : +86 (021) 5046-1490 E-mail: ec@hakuto-vacuum.cn

Hakuto 離子蝕刻機 7.5IBE 用于刻蝕硅微機械陀螺芯片

上一篇 / 下一篇 2020-11-24 14:43:28/ 個人分類：離子刻蝕機

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某芯片實驗室為了解決芯片濕法刻蝕難以解決的橫向腐蝕問題, 引進伯東 Hakuto 離子蝕刻機 7.5IBE 用于刻蝕硅微機械陀螺芯片.

Hakuto 離子蝕刻機 7.5IBE 技術規格:

真空腔	1 set, 主體不銹鋼,水冷
基片尺寸	1 set, 4”/6”? Stage, 直接冷卻,
離子源	? 8cm 考夫曼離子源 KDC75
離子束入射角	0 Degree～± 90 Degree
極限真空	≦1x10-4 Pa
刻蝕性能	一致性: ≤±5% across 4”

該實驗室采用的 Hakuto 離子刻蝕機 7.5IBE 的核心構件離子源是配伯東公司代理美國考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 75

伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC75 技術參數：

離子源型號	離子源 KDC 75
Discharge	DC 熱離子
離子束流	>250 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	7.5 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	2-15 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	20.1 cm
直徑	14 cm
中和器	燈絲