硅襯底

本專題涉及硅襯底的標準有7條。

國際標準分類中，硅襯底涉及到半導體材料、有色金屬、半導體分立器件。

在中國標準分類中，硅襯底涉及到元素半導體材料、半金屬與半導體材料綜合、電工絕緣材料及其制品、貴金屬及其合金、。

行業標準-電子，關于硅襯底的標準

• SJ/T 11493-2015 硅襯底中氮濃度的二次離子質譜測量方法
• SJ/T 11498-2015 重摻硅襯底中氧濃度的二次離子質譜測量方法
• SJ/T 11865-2022 功率器件用Φ150 mm n型碳化硅襯底

國家質檢總局，關于硅襯底的標準

• GB/T 24580-2009 重摻n型硅襯底中硼沾污的二次離子質譜檢測方法

行業標準-有色金屬，關于硅襯底的標準

• YS/T 839-2012 硅襯底上絕緣體薄膜厚度及折射率的橢圓偏振測試方法

中國團體標準，關于硅襯底的標準

• T/CASAS 004.1-2018 4H碳化硅襯底及外延層缺陷術語
• T/CASAS 004.2-2018 4H碳化硅襯底及外延層缺陷圖譜

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可能用到的儀器設備