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單晶襯底

本專題涉及單晶襯底的標準有6條。

國際標準分類中，單晶襯底涉及到半導體材料、金屬材料試驗、絕緣流體。

在中國標準分類中，單晶襯底涉及到化合物半導體材料、金屬物理性能試驗方法、電子技術專用材料。

國家質檢總局，關于單晶襯底的標準

• GB/T 30858-2014 藍寶石單晶襯底拋光片
• GB/T 41751-2022 氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑測試方法
• GB/T 32189-2015 氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法
• GB/T 32188-2015 氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法
• GB/T 13843-1992 藍寶石單晶拋光襯底片

行業標準-電子，關于單晶襯底的標準

• SJ/T 11864-2022 半絕緣型碳化硅單晶襯底

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