二次離子深度剖析

本專題涉及二次離子深度剖析的標準有2條。

國際標準分類中，二次離子深度剖析涉及到分析化學。

在中國標準分類中，二次離子深度剖析涉及到基礎標準與通用方法。

國家質檢總局，關于二次離子深度剖析的標準

• GB/T 41064-2021 表面化學分析 深度剖析 用單層和多層薄膜測定X射線光電子能譜、俄歇電子能譜和二次離子質譜中深度剖析濺射速率的方法
• GB/T 40109-2021 表面化學分析 二次離子質譜 硅中硼深度剖析方法

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