半導體生產設備

本專題涉及半導體生產設備的標準有2條。

國際標準分類中，半導體生產設備涉及到空氣質量、消防、機械安全、半導體分立器件。

在中國標準分類中，半導體生產設備涉及到電子工業生產設備綜合、基礎標準與通用方法。

美國國家標準學會，關于半導體生產設備的標準

• ANSI/NFPA 318-2011 半導體生產設備的保護標準

法國標準化協會，關于半導體生產設備的標準

• NF C79-130-33*NF EN 60204-33:2012 機械安全 - 機械的電氣設備 - 第33部分: 半導體生產設備的要求.

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