本標準規定了MEMS電場傳感器(以下簡稱“傳感器”)的原材料、結構組成、技術要求、試驗項目和方法、檢驗規則、包裝、存儲和運輸。 本標準適用于MEMS電場傳感器的研制、生產和采購。其他類型的電場傳感器可參照使用。
術語 | |
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MEMS電場傳感器 | MEMS electric field sensor |
高低溫交變濕熱試驗箱 | 用于評估傳感器在不同溫度和濕度條件下的環境適應性。 |
測試系統 | 主要由供電電源、傳感器、標準電場箱、控制與檢測裝置組成,用于測試MEMS電場傳感器的性能。 |
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