BS EN 62047-26:2016
半導體器件. 微型機電裝置. 微槽和針孔結構的描述和測量方法
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Description and measurement methods for micro trench and needle structures
- 標準號
- BS EN 62047-26:2016
- 發布
- 2016年
- 發布單位
- 英國標準學會
- 當前最新
- BS EN 62047-26:2016
- 引用標準
- EN ISO 3274:1997 GUM-1995 ISO 129-1 ISO 3274:1996 ISO/IEC Guide 98-3:2008
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