EN 62047-26:2016
半導體器件-微機電器件-第26部分：微溝槽和針結構的描述和測量方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures

標準號: EN 62047-26:2016
發布: 2016年
發布單位: 歐洲電工標準化委員會
當前最新: EN 62047-26:2016

適用范圍: IEC 62047-26:2016 規定了微米級溝槽結構和針結構的描述。此外，它還提供了兩種結構的幾何形狀的測量示例。對于溝槽結構，本標準適用于深度為1μm至100μm的結構；墻壁和溝槽的寬度分別為 5 μm 至 150 μm；長寬比為 0,006 7 至 20。對于針狀結構，該標準適用于具有三個或四個面、高度、水平寬度和垂直寬度為 2 μm 或更大，且尺寸適合邊長為 100 的立方體的結構微米。本標準適用于MEMS的結構設計以及MEMS工藝后的幾何評估。

EN 62047-26:2016相似標準

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