GB/T 32188-2015
氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法
Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate
GBT32188-2015, GB32188-2015
- 標準號
- GB/T 32188-2015
- 別名
- GBT32188-2015
GB32188-2015 - 發布
- 2015年
- 發布單位
- 國家質檢總局
- 當前最新
- GB/T 32188-2015
- 引用標準
- GB/T 14264
- 本標準規定了利用雙晶X射線衍射儀測試氮化鎵單晶襯底片搖擺曲線半高寬的方法。 本標準適用于化學氣相沉積及其他方法生長制備的氮化鎵單晶襯底片。