T/IAWBS 016-2022
碳化硅單晶片 X 射線雙晶搖 擺曲線半高寬測試方法
X-ray double crystal rocking curve FWHM test method for silicon carbide single wafer
- 標準號
- T/IAWBS 016-2022
- 發布
- 2022年
- 發布單位
- 中國團體標準
- 當前最新
- T/IAWBS 016-2022
- 適用范圍
- 本文件根據碳化硅單晶的材料性能特點，并結合目前國內碳化硅晶體質量檢測技術的研究水平，對碳化硅單晶搖擺曲線的測量原理、測量精度保障、測量步驟等內容作出了規定。本文件的主要結構和內容如下： 本文件主題章共分為9章，主要內容包括：范圍、 規范性引用文件、術語和定義、測試原理、測試儀器、干擾因素，測試環境、測試樣品、測試程序、精密度、測試報告和附錄。