SJ/T 11503-2015
碳化硅單晶拋光片表面粗糙度的測試方法
Test methods for measuring surface roughness of polished monocrystalline silicon carbide wafers
SJT11503-2015, SJ11503-2015
- 標準號
- SJ/T 11503-2015
- 別名
- SJT11503-2015, SJ11503-2015
- 發布
- 2015年
- 發布單位
- 行業標準-電子
- 當前最新
- SJ/T 11503-2015
- 適用范圍
- 本標準規定了測試碳化硅單晶拋光片表面粗糙度的方法,包括表面輪廓儀法和原子力顯微鏡法。本標準適用于碳化硅單晶拋光片表面粗糙度的測試。其中,原子力顯微鏡法僅適用于經過化學機械拋光或光學拋光且表面粗糙度的起伏在零點幾納米至幾微米范圍內的碳化硅單晶拋光片。
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