ASTM D7980-15
半導體工業用超純水 (UPW) 隨即樣本中陰離子的離子色譜分析標準指南
Standard Guide for Ion-Chromatographic Analysis of Anions in Grab Samples of Ultrapure Water (UPW) in the Semiconductor Industry
- 標準號
- ASTM D7980-15
- 發布
- 2015年
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 替代標準
- ASTM D7980-15(2023)
- 當前最新
- ASTM D7980-15(2023)
- 引用標準
- ASTM D1129 ASTM D5127
- 適用范圍
- 1.1 本指南適用于被認為含有低 ppt（萬億分之一，重量/重量）水平的陰離子污染物（例如溴化物、氯化物、氟化物、硝酸鹽、亞硝酸鹽、磷酸鹽和硫酸鹽）。為了最大限度地減少分析之間的殘留問題，最好將任何一種污染物的濃度限制在大約 200 ppt（盡管此限制只是一個近似值，并且可能會有所不同，具體取決于用戶的應用）。
1.2 本指南旨在幫助分析人員避免超純水樣品的污染，因為污染控制是定量樣品中 ppt 級陰離子時的主要挑戰。
1.3 本指南不包括從水源采集樣品的建議。
1.4 本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。